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          英國(guó)Ossila-Spin Coater

          簡(jiǎn)要描述:英國(guó)Ossila-Spin Coater操作簡(jiǎn)單,方便實(shí)用,旋涂均勻,結(jié)構(gòu)小巧緊湊,為實(shí)驗(yàn)室提供了理想的解決方案,其采用創(chuàng)新設(shè)計(jì)的非真空卡盤(pán)式旋涂吸盤(pán),無(wú)需真空泵或充氮?dú)猓湍苓_(dá)到很好的旋涂效果。可對(duì)大小不同規(guī)格的基材都可進(jìn)行旋涂,尤其是對(duì)超薄樣品,即使基片厚度0.7毫米、0.55毫米、0.2毫米或更薄時(shí)同樣能達(dá)到較好的旋涂效果。不會(huì)出現(xiàn)真空吸盤(pán)旋涂較薄的基材襯底翹曲現(xiàn)象,影響涂層的均勻性。

          • 產(chǎn)品型號(hào):L20001
          • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
          • 更新時(shí)間:2024-10-25
          • 訪  問(wèn)  量:2491

          詳細(xì)介紹

          品牌Ossila/歐西拉價(jià)格區(qū)間5萬(wàn)-10萬(wàn)
          產(chǎn)地類(lèi)別進(jìn)口應(yīng)用領(lǐng)域醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,食品,生物產(chǎn)業(yè),農(nóng)業(yè)

          英國(guó)Ossila-Spin Coater

           

          Spin Coater技術(shù)性能

          • 可在手套箱和通風(fēng)廚內(nèi)使用,基座面積僅為22.5x17cm。
          • 無(wú)需真空泵、充氮?dú)猓?jié)省保養(yǎng)維護(hù)費(fèi)用。
          • 創(chuàng)新設(shè)計(jì)非真空卡盤(pán)式吸盤(pán),基材只需放置在卡盤(pán)式旋涂托盤(pán)適當(dāng)位置,無(wú)需抽真空,就能達(dá)到較好的旋涂效果。
          • 耐酸堿防腐蝕FEP覆膜操作界面,堅(jiān)固的不銹鋼外殼,鋼化的玻璃蓋和耐酸堿防腐蝕的襯墊和聚丙烯材質(zhì)旋涂托盤(pán),使得在各種苛刻條件下仍能保證儀器正常運(yùn)行。
          • 采用液晶顯示+按鍵操作控制界面。智能程序化控制,10個(gè)用戶(hù)自定義協(xié)議,每個(gè)協(xié)議下可設(shè)置10個(gè)程序,每個(gè)程序多50個(gè)步驟。
          • 內(nèi)置水平校準(zhǔn)裝置,大限度的保證旋涂均勻,可對(duì)大小不同規(guī)格的基片進(jìn)行旋涂。
          • 電磁安全開(kāi)關(guān),蓋子打開(kāi)卡盤(pán)停止,保證運(yùn)行安全。
          • 轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性<2%。
          • 轉(zhuǎn)速120-6000rpm。
          • 定時(shí)器1-1000秒。
          • 電源DC24V、2A, 使用100-240V 50/60Hz電源適配器。
          • 尺寸220x170x132mm。
            Spin Coater用于晶片基底材料的表面光刻膠涂覆。勻膠機(jī)由樣品臺(tái)、滴膠裝置和空心電動(dòng)機(jī)組成,其工作原理是,通過(guò)在樣品臺(tái)上產(chǎn)生負(fù)壓將需要旋涂的基底材料吸附在樣品臺(tái)上,光刻膠液滴注在基底材料的表面,通過(guò)準(zhǔn)確控制電動(dòng)機(jī)的旋轉(zhuǎn)速度,以此來(lái)改變離心力的大小,同時(shí)通過(guò)控制膠液的流量來(lái)達(dá)到制備薄膜所需的厚度。

           

          Spin Coater

           

            勻膠機(jī)在旋涂過(guò)程中會(huì)出現(xiàn)邊緣效應(yīng),這是由于在旋涂的過(guò)程中溶劑的揮發(fā)導(dǎo)致表面和邊界處光刻膠的濃度和黏度都增大,從而引起邊緣位置較中心位置要厚一些,因此基片邊緣需要經(jīng)過(guò)去邊處理。去邊處理包括基片正面和背面的化學(xué)去邊處理,以及基片正面的光學(xué)去邊處理。
            Spin Coater動(dòng)態(tài)滴膠是指基片在旋轉(zhuǎn)的過(guò)程中將光刻膠滴注到基片的中心位置,通常旋轉(zhuǎn)速度不宜過(guò)快( 500/min),動(dòng)態(tài)滴膠可以在保證快速地在基片表面將光刻膠鋪開(kāi)的前提下,減少針孔的產(chǎn)生,也可減少光刻膠的使用量。

          • 左:普通旋涂機(jī)上有真空密封環(huán)形印跡     右:Ossila非真空式旋涂效果
           

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