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          Products產品中心
          首頁 > 產品中心 > CIF材料表面處理儀器 > CIF等離子清洗機 > CPC15/35/80/120/150CIF生產型等離子清洗機

          CIF生產型等離子清洗機

          簡要描述:CIF生產型等離子清洗機
          CIF 推出的中試生產型等離子清洗機是為研發(fā)型客戶和工業(yè)級客 戶而設計的等離子體表面處理設備。配置豐富, 且真空腔體里可分層, 適合大多數生產場景清洗,活化、刻蝕等應用。設備可在嚴苛環(huán)境下 穩(wěn)定運行,產品性能穩(wěn)定,樣品處理重復性、一致性好。

          • 產品型號:CPC15/35/80/120/150
          • 廠商性質:生產廠家
          • 更新時間:2024-10-25
          • 訪  問  量:4617

          詳細介紹

          品牌CIF產地類別國產
          應用領域環(huán)保,化工,能源,電子

          產品特點

          ◆  7 寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面,自動監(jiān)測工藝參數狀態(tài),20 個配方程序,可存儲、輸出、追溯工藝數據。

          ◆  PLC 工控機控制整個清洗過程,手動、自動兩種工作模式。

          ◆  CIF生產型等離子清洗機采用質量流量計,  氣體流量控制更準確。標配雙路氣體輸送系統(tǒng),   可選多氣路氣體輸送系統(tǒng)。可輸入氧氣、氬氣、氮氣、 四氟化碳、氫氣或混合氣體等氣體。

          ◆  采用多孔道進氣方式,改變傳統(tǒng)等離子清洗機單孔進氣不均勻問題。

          ◆  HEPA 高效過濾,氣體返填吹掃,防止二次污染。

          ◆  316 不銹鋼真空艙,潔凈無污染。

          ◆  全真空管路系統(tǒng)采用 316 不銹鋼材質。

          ◆  處理高效均勻,效率高,工藝重復性好。

          ◆  合理的結構設計,設備占用空間小。

          ◆  可處理各種材質、形狀、尺寸樣品。

          ◆  樣品處理溫度低,無熱損傷和熱氧化。

          ◆  使用成本低、耗損小。

          ◆  產品性能穩(wěn)定,安裝維護,簡單方便。

          ◆  安全保護,艙門打開,自動關閉電源。

          ◆  機器運行、停止提示。



          CIF生產型等離子清洗機技術參數

          型號

          CPC15

          CPC35

          CPC80

          CPC120

          CPC150

          艙體尺寸

          W240xH240

          xD260mm

          W320xH320

          xD350mm

          W420xH400

          xD500mm

          W500xH500

          xD450mm

          W500xH500

          xD600mm

          艙體容積

          15L

          35L

          80L

          120L

          150L

          艙體材質

          不銹鋼

          不銹鋼

          不銹鋼

          不銹鋼

          不銹鋼

          有效尺寸

          W240xD230mm

          W320xD323mm

          W420xD468mm

          W500xxD420mm

          W500xxD565mm

          電極分布

          2 層

          3-4 層

          6 層

          8-10 層

          10-15 層

          射頻電源

          13.56MHz

          13.56MHz

          13.56MHz

          13.56MHz

          13.56MHz

          射頻功率

          0-300W

          0-300W

          0-600W

          0-1000W

          0-1000W

          匹配器

          自動匹配器

          激發(fā)方式

          電容式

          電流

          1.2A

          時間設定

          9999 秒

          氣體穩(wěn)定 時間

          1 分鐘

          真空度

          100pa 以內

          控制系統(tǒng)

          7 寸 PLC 觸摸屏控制

          工藝氣體

          2 氣路 MFC  (可選裝 3 路)

          產品尺寸

          L625xW600

          xH760mm

          L625xW600

          xH805mm

          L905xW845

          xH1940mm

          L625xW600

          xH760mm

          L905xW845

          xH2010mm

          包裝尺寸

          L740xW775

          xH1000mm

          L740xW775

          xH1045mm

          L1015xW1065 xH2050mm

          L1015xW1065 xH2120mm

          L1015xW1065 xH2120mm

          真空泵

          抽速約 8m3/h

          抽速 16m3/h

          抽速 40m3/h

          抽速 60m3/h

          抽速約 60m3/h

          電源

          AC220V

          50/60Hz 552W

          AC220V

          50/60Hz 552W

          AC380V

          50/60Hz 902W

          AC380V

          50/60Hz 1302W

          AC380V

          50/60Hz 1302W

          整機重量

          108kg

          135kg

          465kg

          485kg

          575kg




           

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